六氟乙烷C₂F₆氣體特性

1、六氟乙烷在常溫常壓下是惰性的、無色、不燃和無毒氣體。

2、裝有六氟乙烷的鋼瓶不應近火源或過度加熱，若遇高熱，容器內壓力增大，有開裂和爆炸的

危險。

3、接觸六氟乙烷可致凍傷；吸入可能導致不適如惡心、頭痛，以及麻醉如頭昏眼花、暈厥、反應遲鈍、失去知覺；高濃度（大于20%）吸入可能導致心律不齊、心悸、供血不足；過多暴露可能導致原有的神經中樞系統疾病加劇。當出現上述癥狀時，應及時從現場撤離，就醫。

4、當環境中六氟乙烷濃度較高時，現場人員應佩戴自吸過濾式防毒面具

六氟乙烷在半導體與微電子業中用作等離子蝕刻氣體、器件表面清洗劑，還可用于光纖生產與低溫制冷。因其具有無毒無臭、高穩定性而被廣泛應用在半導體制造過程中。隨著半導體行業的迅猛發展，對電子特氣的純度要求越來越高，而六氟乙烷由于具有邊緣向侵蝕現象極微、高蝕刻率及高精確性的優點，是超大規模集成電路所必需的介質，對半導體行業的發展起著重要的作用。

六氟乙烷ODP值（臭氧層破壞潛能值）為零，GWP值（溫室效應能力）為9200，主要應用在低溫制冷與電子清洗及蝕刻行業，另外少部分應用在醫學手術中及其它新開發的領域。

包裝、標志及貯運

1、六氟乙烷的充裝及貯運應符合TSGR0006、《危險化學品安全管理條例》（2002年版）和《特種設備安全監察條例》（2009年版）的相關規定。

2、包裝六氟乙烷的氣瓶應符合GB/T5099的規定。

3、推薦使用進行內表面處理的氣瓶，處理后的氣瓶應滿足本標準的要求。瓶閥出氣口連接方式推薦使用CGA320。

4、應防止泄漏和瓶口被污染。

5、六氟乙烷的充裝應符合GB/T14193的相關規定。

科哲閥門可為客戶提供電子特氣專用閥門，分別為：

CGA3系列：CGA320/CGA326/CGA330/CGA350等

CGA5系列：CGA510/CGA580/CGA590等

CGA6系列：CGA660/CGA670/CGA678/CGA679等

CGA DISS6系列：CGA DISS632/DISS634/DISS636/DISS638/DISS640/DISS642等

CGA DISS7系列：CGA DISS712/714/716/718/720/722/724/726/728等

六氟乙烷應用場景

低溫制冷：優良的熱力性能和無毒、不可燃的安全性、分子結構的穩定性使其非常適合應用于超低溫冷凍系統，最主要的用法是六氟乙烷與三氟乙烷相配組成共沸混合制冷劑R508

電子產品的清洗及蝕刻：六氟乙烷因其無毒無臭、高穩定性被廣泛應用在半導體制造過程中，如作為蝕刻劑、化學氣相沉積后的清洗腔體

醫學領域：六氟乙烷作為一種理化性質介于六氟化硫 SF6 和八氟丙烷 C3F8 之間的長效氣體，應用于鞏膜扣帶術中，取得良好效果。成為黃斑裂孔性視網膜脫離手術中較為理想、安全、并可提高手術治愈的玻璃體替代物。