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BF200-CGA DISS6 系
| 工作壓力 | 20MPa |
| 閥門通徑 | 4mm |
| 流量系數 | Cv=0.35 |
| 內部泄漏率 | 內部≤ 1×10-9mbar·l/sec |
| 外部泄漏率 | 外部≤ 1×10-9mbar·l/sec |
| 安全泄漏率(帶安全泄壓裝置時) | 安全≤ 1×10-9mbar·l/sec |
| 最小關閉扭矩 最大工作壓力時 | 4N·m |
| 最大推薦關閥扭矩 | 7N·m |
| 允許最大關閉扭矩 | 15N·m |
| 適用溫度范圍 | -40℃ ~+60℃ |
| 適用介質 | 超高純、腐蝕性、有毒氣體 |
|
|
選型表
型 號 | 入口端規格 | 出口端規格 | 適用介質 |
BF200-CGA DISS632-3/4NGT | 3/4NGT | CGA DISS632 | B2H6、H2Se、PH3、SiH4 |
BF200-CGA DISS634-3/4NGT | 3/4NGT | CGA DISS634 | BCl3、HBr、HCL |
BF200-CGA DISS636-3/4NGT | 3/4NGT | CGA DISS636 | H2SiCL2、SiCl4 |
BF200-CGA DISS638-3/4NGT | 3/4NGT | CGA DISS638 | HF、WF6 |
BF200-CGA DISS640-3/4NGT | 3/4NGT | CGA DISS640 | NF3 |
BF200-CGA DISS642-3/4NGT | 3/4NGT | CGA DISS642 | BF3、SiF4 |
BF200-CGA DISS638-V2 | V2 | CGA DISS638 | HF、WF6 |
BF200-CGA DISS6 系
| 工作壓力 | 20MPa |
| 閥門通徑 | 4mm |
| 流量系數 | Cv=0.35 |
| 內部泄漏率 | 內部≤ 1×10-9mbar·l/sec |
| 外部泄漏率 | 外部≤ 1×10-9mbar·l/sec |
| 安全泄漏率(帶安全泄壓裝置時) | 安全≤ 1×10-9mbar·l/sec |
| 最小關閉扭矩 最大工作壓力時 | 4N·m |
| 最大推薦關閥扭矩 | 7N·m |
| 允許最大關閉扭矩 | 15N·m |
| 適用溫度范圍 | -40℃ ~+60℃ |
| 適用介質 | 超高純、腐蝕性、有毒氣體 |
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選型表
型 號 | 入口端規格 | 出口端規格 | 適用介質 |
BF200-CGA DISS632-3/4NGT | 3/4NGT | CGA DISS632 | B2H6、H2Se、PH3、SiH4 |
BF200-CGA DISS634-3/4NGT | 3/4NGT | CGA DISS634 | BCl3、HBr、HCL |
BF200-CGA DISS636-3/4NGT | 3/4NGT | CGA DISS636 | H2SiCL2、SiCl4 |
BF200-CGA DISS638-3/4NGT | 3/4NGT | CGA DISS638 | HF、WF6 |
BF200-CGA DISS640-3/4NGT | 3/4NGT | CGA DISS640 | NF3 |
BF200-CGA DISS642-3/4NGT | 3/4NGT | CGA DISS642 | BF3、SiF4 |
BF200-CGA DISS638-V2 | V2 | CGA DISS638 | HF、WF6 |
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