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GF06系列隔膜式低壓管道閥(手動)

GF06系列隔膜式低壓管道閥(手動結構圖)
尺寸 | 1/4” | 3/8” | 1/2” | 3/4” |
通徑尺寸 | 4.5 | 6.5 | 6.5 | 7 |
Cv 值 | 0.3 | 0.65 | 0.65 | 0.65 |
工作壓力 | 0~10bar | |||
適用工作溫度 | -10℃ ~+80℃ | |||
膜片材質 | Elgiloy?/Hastelloy?C-276 | |||
| 密封墊材質 | PCTFE | |||
內漏值 | ≤ 1×10-9 mbar·l/s | |||
| 外漏值 | ≤ 1×10-9 mbar·l/s | |||
氣動執行機構壓力 | 4~6bar | |||
適用介質 | 電子特氣、非腐蝕性氣體、超高純氣體 | |||
產品特性
設計緊湊,擁有最小的死區空間 ;
主體材料符合 SEMIF-20:UHP( 超高純 ) 級半導體制造應用 316LSS 材料規范緊湊的體積設計同時能擁有大流量 ;
更小的顆粒物產生 ;
潔凈室中采用特殊的清潔工藝,將水分、氧氣和碳氫化合物的值降至最低 :特殊的電拋光工藝,流體區域的光潔度極佳 ;
Elgiloy? 隔膜材料具有很強的耐用性和耐腐蝕性,循環壽命長 ;8.PCTFE 閥座材料具有出色的耐化學性和耐熱性。

GF06系列隔膜式低壓管道閥(手動)

GF06系列隔膜式低壓管道閥(手動結構圖)
尺寸 | 1/4” | 3/8” | 1/2” | 3/4” |
通徑尺寸 | 4.5 | 6.5 | 6.5 | 7 |
Cv 值 | 0.3 | 0.65 | 0.65 | 0.65 |
工作壓力 | 0~10bar | |||
適用工作溫度 | -10℃ ~+80℃ | |||
膜片材質 | Elgiloy?/Hastelloy?C-276 | |||
| 密封墊材質 | PCTFE | |||
內漏值 | ≤ 1×10-9 mbar·l/s | |||
| 外漏值 | ≤ 1×10-9 mbar·l/s | |||
氣動執行機構壓力 | 4~6bar | |||
適用介質 | 電子特氣、非腐蝕性氣體、超高純氣體 | |||
產品特性
設計緊湊,擁有最小的死區空間 ;
主體材料符合 SEMIF-20:UHP( 超高純 ) 級半導體制造應用 316LSS 材料規范緊湊的體積設計同時能擁有大流量 ;
更小的顆粒物產生 ;
潔凈室中采用特殊的清潔工藝,將水分、氧氣和碳氫化合物的值降至最低 :特殊的電拋光工藝,流體區域的光潔度極佳 ;
Elgiloy? 隔膜材料具有很強的耐用性和耐腐蝕性,循環壽命長 ;8.PCTFE 閥座材料具有出色的耐化學性和耐熱性。
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