產品特性

超高潔凈材料與工藝

材質選擇：閥體采用 SUS316L 超低碳不銹鋼，符合 SEMI F-20 UHP（超高純）標準，確保無金屬離子析出，適用于半導體、生物制藥等對純度要求極高的場景。

表面處理：流體接觸區域電拋光至 Ra ≤ 0.25μm，顯著降低顆粒吸附風險，并通過 Class 100 潔凈室組裝，避免二次污染。

卓越密封與泄漏控制

波紋管密封結構：采用金屬波紋管（如 Elgiloy? 或Hastelloy? C-276）替代傳統填料密封，實現零外漏，氦檢漏率≤ 1×10mbar·l/s（真空法），滿足嚴苛的真空系統需求。

雙重密封設計：結合 PCTFE 閥座與波紋管動態密封，耐化學腐蝕且適應 -50℃ ~150℃溫度波動。

耐腐蝕與長壽命

耐腐蝕材料：波紋管及閥內件采用特種合金（如 Hastelloy? C-276），耐受強酸、強堿及 Cl環境，壽命可達 10 萬次以上循環。

無死角流道：全通徑設計，流道光滑無滯留區，避免介質殘留導致的交叉污染。

靈活適配與安全性

多接口標準：支持 VCR、VCO、Swagelok 等高純接頭，適配 1/4" 至 2" 管路系統。

防爆與抗疲勞：波紋管柔性結構可吸收熱膨脹與機械振動，降低應力開裂風險，適用于高頻開關場景。

嚴格質量控制與認證

檢測標準：通過 SEMI、ASME BPE 認證，提供材質報告、氦檢漏證書及顆粒物檢測數據（如

≤ 5 顆粒 / 立方英尺，≥ 0.1μm）。

包裝防護：雙層潔凈袋（內層 2μm 尼龍 + 外層 6μm 聚乙烯）+ 氮氣填充，確保運輸中無污染