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該系列產(chǎn)品已在數(shù)千種嚴(yán)苛工況、各類工藝條件下投入應(yīng)用,其卓越的可靠性得到充分驗(yàn)證。在真空度可達(dá)<10??毫巴的壓力區(qū)間內(nèi),該系列已成為真空隔離的標(biāo)準(zhǔn)解決方案,典型應(yīng)用場(chǎng)景包括與渦輪分子泵配套使用。
結(jié)構(gòu)堅(jiān)固,支持直接安裝;分體式閥體設(shè)計(jì)可簡(jiǎn)化維護(hù)流程、降低維護(hù)難度,輕松滿足各項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)要求。
產(chǎn)品在驅(qū)動(dòng)方式、法蘭連接形式及附加真空接口等方面提供多種配置方案,可靈活集成至各類真空應(yīng)用設(shè)備中。

通徑尺寸 | DN63-320mm (2?"–12") |
執(zhí)行器 | 帶推桿氣動(dòng)執(zhí)行器:雙作用 |
主體材質(zhì) | 鋁合金 |
軸封 | 填料密封 |
法蘭標(biāo)準(zhǔn) | ISO-F,JIS |
泄漏率 | 閥體、閥座<1×10-9mbar ls-1 |
壓力范圍 | DN63-200 1×10-7mbar to 1.6 bar (abs) |
閥門上的壓差 | DN63-200 ≤1.6bar |
開(kāi)啟壓差 | ≤30mbar |
首次維護(hù)前的循環(huán)次數(shù) | DN63-100,200,000次 |
溫度 | 閥體≤120℃; |
該系列產(chǎn)品已在數(shù)千種嚴(yán)苛工況、各類工藝條件下投入應(yīng)用,其卓越的可靠性得到充分驗(yàn)證。在真空度可達(dá)<10??毫巴的壓力區(qū)間內(nèi),該系列已成為真空隔離的標(biāo)準(zhǔn)解決方案,典型應(yīng)用場(chǎng)景包括與渦輪分子泵配套使用。
結(jié)構(gòu)堅(jiān)固,支持直接安裝;分體式閥體設(shè)計(jì)可簡(jiǎn)化維護(hù)流程、降低維護(hù)難度,輕松滿足各項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)要求。
產(chǎn)品在驅(qū)動(dòng)方式、法蘭連接形式及附加真空接口等方面提供多種配置方案,可靈活集成至各類真空應(yīng)用設(shè)備中。

通徑尺寸 | DN63-320mm (2?"–12") |
執(zhí)行器 | 帶推桿氣動(dòng)執(zhí)行器:雙作用 |
主體材質(zhì) | 鋁合金 |
軸封 | 填料密封 |
法蘭標(biāo)準(zhǔn) | ISO-F,JIS |
泄漏率 | 閥體、閥座<1×10-9mbar ls-1 |
壓力范圍 | DN63-200 1×10-7mbar to 1.6 bar (abs) |
閥門上的壓差 | DN63-200 ≤1.6bar |
開(kāi)啟壓差 | ≤30mbar |
首次維護(hù)前的循環(huán)次數(shù) | DN63-100,200,000次 |
溫度 | 閥體≤120℃; |
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