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憑借超高的顆粒截留效率，科哲VF系列電子特氣過濾器可深度濾除工藝氣體中的微細顆粒，有效避免雜質對芯片制程的干擾，從而確保晶圓生產的高品質與超凈環(huán)境要求。
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產品詳情VF系列電子特氣過濾器
產品參數(shù)
VF1過濾器
VF2過濾器
最大工作壓力
162bar
205bar
過濾精度
1μm
總長度
84.6mm
流體接觸區(qū)域材質
VF1
VF2
閥體
SUS316L
SUS316L
密封墊
PTFE
/
濾網
SUS316L
SUS316L
電子特氣過濾器尺寸
圖形
接口尺寸
A
L
H
MV4
S32
47.8
78.6
MV8
S32
47.8
84.6
MV4
Φ38
42.1
83.7
MV8
Φ38
42.1
87.7
產品詳情VF系列電子特氣過濾器
產品參數(shù)
VF1過濾器
VF2過濾器
最大工作壓力
162bar
205bar
過濾精度
1μm
總長度
84.6mm
流體接觸區(qū)域材質
VF1
VF2
閥體
SUS316L
SUS316L
密封墊
PTFE
/
濾網
SUS316L
SUS316L
電子特氣過濾器尺寸
圖形
接口尺寸
A
L
H
MV4
S32
47.8
78.6
MV8
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MV4
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