高純氯氣，是一種特種氣體，純度在99.996%以上，目前市場中使用的高純氯氣純度一般達到99.999%以上，其水分、金屬等雜質含量要求極高。 高純氯氣主要應用在電子工業中，是一種重要的電子特氣，具有較強的不可或缺性。 

高純氯氣可以應用在干法蝕刻（例如 等離子體 薄膜蝕刻）、晶體生長（例如制備納米微晶 纖維素）、熱氧化等工藝中，在電子工業領域，可廣泛應用于集成電路、半導體、光纖、LCD、LED、 高溫超導 、光伏等產業中。 以光纖制備為例，光纖通信具有容量大、損耗低、抗干擾性強的優點，應用規模不斷擴大，為脫除光纖中的 氫氧根 離子，降低其光散射、 光吸收 能力，從而進一步降低損耗，光纖在制造過程中必須通入高純氯氣。